采用超快紫外飛秒激光加工，切割熱影響小
采用數(shù)字振鏡高速掃描切割
Inline/Online架構(gòu)均可定制
采用高精度視覺CCD雙級定位，實現(xiàn)精準切割，以及檢查激光打孔的位置精度、切割熱影響HAZ等邊沿效果，避免切割造成的不良
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
|---|---|---|
| 01 | 產(chǎn)品尺寸 | 3-8” |
| 02 | 激光器功率 | 30W |
| 03 | 切割精度 | ±30μm |
| 04 | 激光器類型 | 紫外飛秒 |
| 05 | 切割熱影響 | ＜30μm |
| 06 | 設(shè)備TT | 4.5S |
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